Se likid la fanm k'ap pile divize dapre mekanis li yo nan aksyon: aksyon mekanik fanm k'ap pile likid, chimik aksyon mekanik fanm k'ap pile likid.
Mekanik fanm k'ap pile likid: dyaman, B4C, elatriye yo te itilize kòm abrazif, dispèse nan mwayen an likid lè yo ajoute dispersants, elatriye, yo fòme yon likid ki gen efè fanm k'ap pile, ki rele dyaman fanm k'ap pile likid, carbure bore fanm k'ap pile likid, elatriye. distribye lib nan likid la dispèsyon, ak fanm k'ap pile ak eklèsi nan materyo-a reyalize lè l sèvi avèk prensip la ke dite nan abrazif la pi gran pase sa yo ki nan materyo-a yo dwe tè. Dapre sifas la nan abrazif la, gwosè a nan patikil yo, konfigirasyon an nan likid la fanm k'ap pile, estabilite nan ekipman an fanm k'ap pile, elatriye, apre yo fin fanm k'ap pile a fini, gwo oswa ti reyur yo fasil yo dwe kite sou sifas la nan. pyès travay la. Se poutèt sa, abrazif aji mekanik yo jeneralman yo itilize pou fanm k'ap pile ki graj, ki te swiv pa fanm k'ap pile presizyon ak polisaj.
Chimik-mekanik fanm k'ap pile likid: Chimik-mekanik fanm k'ap pile likid itilize prensip la nan "mou fanm k'ap pile ak redi" nan mete, se sa ki, polisaj ak materyèl douser reyalize yon bon jan kalite sifas poli. Li se yon konbinezon de fanm k'ap pile mekanik ak korozyon chimik. Li fòme yon sifas ki lis ak plat sou sifas la nan mwayen tè a pa vle di nan aksyon an fanm k'ap pile ak aksyon korozyon chimik nan patikil ultrafin. Se poutèt sa, chimik mekanik polisaj likid yo rele tou chimik mekanik polisaj likid (chimik mekanik polisaj, refere yo kòm CMP). Nan prezans yon sèten presyon ak sispansyon polisaj, pyès la yo dwe poli deplase relatif nan pad la polisaj, ak yon sifas ki lis fòme sou sifas la nan materyo a poli pa vle di nan konbinezon an òganik nan efè a fanm k'ap pile nan nanopartikul ak la. efè korozyon nan oksidan an.
